1、國外發(fā)展狀況

國外四十年代發(fā)明了粘貼應(yīng)變式壓力傳感器，隨后幾十年，各國都致力于該產(chǎn)品的粘貼劑和補償技術(shù)等方面的研究，使產(chǎn)品技術(shù)得到很大發(fā)展。70年代前后基本上取代了機械式的傳感器，但是粘貼式傳感器中粘貼膠的弊端無法消除，產(chǎn)品性能受到限制。

60年代，荷蘭、法國等先后提出了薄膜壓力傳感器的開發(fā)設(shè)想，即利用薄膜技術(shù)將應(yīng)變電阻直接制作在彈性材料上，代替粘貼工藝。但當時受到設(shè)備和工藝的限制，該技術(shù)的發(fā)展較慢。同時期電容式傳感器和擴散硅傳感器得到迅速發(fā)展，產(chǎn)品在工業(yè)過程控制、汽車、衡器等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用。下圖為濺射膜壓力傳感器的芯體實物圖。

由于電容式傳感器體積笨重，抗振動、沖擊等惡劣環(huán)境能力差，而擴散硅傳感器存在溫度漂移大的致命弱點，使各發(fā)達國家自70年代以后又加大了對薄膜傳感器的研究投入。荷蘭Could公司首先報道了研究結(jié)果：傳感器連續(xù)工作8年，零點漂移小于千分之一。70年代中期，美國、法國報道了利用陰極蒸發(fā)等工藝制造濺射膜壓力傳感器的技術(shù)成果。80年代之后，德國、俄羅斯等國也相繼報道了利用磁控濺射等方法制造的產(chǎn)品成果，薄膜傳感器的優(yōu)良性能得到世界傳感器行家的公認。目前，濺射膜壓力傳感器在國外主要用于軍事（如美國用于阿波羅飛船、俄羅斯用于聯(lián)盟號飛船和暴風(fēng)雪——能源號航天飛機、法國用于阿迪亞娜運載火箭）、核工業(yè)、油井等惡劣環(huán)境，正推廣應(yīng)用于工控、船舶、機械等其它領(lǐng)域。

2、國內(nèi)發(fā)展狀況

我國自50年代就開始了粘貼應(yīng)變式傳感器的研究，直到70年代，國內(nèi)傳感器商品仍然以粘貼式和早期機械式傳感器為主。進入80年代我國才開始引進生產(chǎn)線生產(chǎn)電容式傳感器，并大量用于工控領(lǐng)域。同時期，原電子部等單位自行開發(fā)的擴散硅傳感器也形成小批量生產(chǎn)能力，但技術(shù)水平與國外同類產(chǎn)品相比有一定差距。 國內(nèi)濺射膜壓力傳感器的研究工作也始于80年代初期，如陜西秦嶺晶體管廠、常州計量局等單位早有實驗結(jié)果的文獻報道，但基本上停留在實驗和試制階段。原電子部利用自行研制的離子束濺射設(shè)備和自身的薄膜技術(shù)優(yōu)勢，采用與目前國內(nèi)外不同的薄膜傳感器制造方法，于1989年開始立項研究，1994年正式推出了商品化的應(yīng)變式合金濺射膜壓力傳感器，目前已有3000余只成功用于航天、油井、電力、石化、冶金等領(lǐng)域。其產(chǎn)品技術(shù)指標達到國際先進水平，綜合經(jīng)濟技術(shù)指標優(yōu)于國外產(chǎn)品水平。本文源自澤天傳感，轉(zhuǎn)載請保留出處。